1、激光束通过聚焦后的光斑的大小。激光束聚集后的光斑越小，切割精度越高，特别是切缝较小，最小的光斑可达0.01mm。
2、工作台的走位精度决定着切割的重复精度。工作台精度越高，切割的精度越高。
3、工件厚度越大，精度越低，切缝越大。由于激光光束为锥形，切缝也是锥形，厚度0.3mmm的不锈钢比2mm的切缝小的多。
4、工件材质对激光切割精度有一定影响。同样情况下，不锈钢要比铝的切割精度高，切面光滑一些。